隨著人們生活質量的上升，人們對生產質量的要求越來越嚴格。電子無塵車間靜電的控制可分為兩類：高濕度實際上減少了無塵車間和潔凈室表面靜電的積累，是理想的作用。較低的濕度適合電荷積聚和潛在的破壞性靜電釋放源。
當相對濕度大于50%時，靜電荷開始消散，但當相對濕度小于30%時，靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上長期存在。
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折衷方案。電子
無塵車間和潔凈室一般采用附加的控制裝置來控制靜電的積聚。隨著相對濕度的增加，包括腐蝕過程在內的許多化學反應的速率都會增加。電子無塵車間和潔凈室周圍暴露在空氣中的表面都覆蓋至少一層水。當這些表面由能與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度會加速反應。幸運的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護性氧化層，以免進一步氧化；但另一種情況，如氧化銅，不具有保護性，因此銅表面在高濕度環境中容易受到腐蝕。
電子無塵車間的溫濕度控制主要是由于其生產工藝的要求：
在電子工業中，制造車間是產生靜電的重要場所。通常情況下，靜電會導致產品短路，導致工作人員導電暈厥事故。因此，電子工業無塵車間的相對濕度不應小于30%，可以減少靜電的產生。電子廠無塵車間無要求，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55%-60%相對濕度。在這種環境中，人們感到舒服，靜電消失了。